半导体行业专业词汇.doc 15页

'半导体行业专业词汇.acceptancetesting(WAT:waferacceptancetesting)2.acceptor:受主，如B，掺入Si中需要接受电子3.ACCESS：一个EDA（EngineeringDataAnalysis）系统4.Acid：酸5.Activedevice：有源器件，如MOSFET（非线性，可以对信号放大）6.Alignmark(key)：对位标记7.Alloy：合金8.Aluminum：铝9.Ammonia：氨水10.Ammoniumfluoride：NH4F11.Ammoniumhydroxide：NH4OH12.Amorphoussilicon：α-Si，非晶硅（不是多晶硅）13.Analog：模拟的14.Angstrom：A（1E-10m）埃15.Anisotropic：各向异性（如POLYETCH）16.AQL(AcceptanceQualityLevel)：接受质量标准，在一定采样下，可以95%置信度通过质量标准（不同于可靠性，可靠性要求一定时间后的失效率）17.ARC(Antireflectivecoating)：抗反射层（用于METAL等层的光刻）18.Antimony(Sb)锑19.Argon(Ar)氩20.Arsenic(As)砷21.Arsenictrioxide(As2O3)三氧化二砷22.Arsine(AsH3)23.Asher：去胶机24.Aspectration：形貌比（ETCH中的深度、宽度比）25.Autodoping：自搀杂（外延时SUB的浓度高，导致有杂质蒸发到环境中后，又回掺到外延层）26.Backend：后段（CONTACT以后、PCM测试前）27.Baseline：标准流程28.Benchmark：基准29.Bipolar：双极30.Boat：扩散用（石英）舟31.CD：（CriticalDimension）临界（关键）尺寸。在工艺上通常指条宽，例如POLYCD为多晶条宽。32.Characterwindow：特征窗口。用文字或数字描述的包含工艺所有特性的一个方形区域。33.Chemical-mechanicalpolish（CMP）：化学机械抛光法。一种去掉圆片表面某种物质的方法。34.Chemicalvapordeposition（CVD）：化学汽相淀积。一种通过化学反应生成一层薄膜的工艺。35.Chip：碎片或芯片。36.CIM：computer-integratedmanufacturing的缩写。用计算机控制和监控制造工艺的一种综合方式。37.Circuitdesign：电路设计。一种将各种元器件连接起来实现一定功能的技术。 38.Cleanroom：一种在温度，湿度和洁净度方面都需要满足某些特殊要求的特定区域。39.Compensationdoping：补偿掺杂。向P型半导体掺入施主杂质或向N型掺入受主杂质。40.CMOS：complementarymetaloxidesemiconductor的缩写。一种将PMOS和NMOS在同一个硅衬底上混合制造的工艺。41.Computer-aideddesign（CAD）：计算机辅助设计。42.Conductivitytype：传导类型，由多数载流子决定。在N型材料中多数载流子是电子，在P型材料中多数载流子是空穴。43.Contact：孔。在工艺中通常指孔1，即连接铝和硅的孔。44.Controlchart：控制图。一种用统计数据描述的可以代表工艺某种性质的曲线图表。45.Correlation：相关性。46.Cp：工艺能力，详见processcapability。47.Cpk：工艺能力指数，详见processcapabilityindex。48.Cycletime：圆片做完某段工艺或设定工艺段所需要的时间。通常用来衡量流通速度的快慢。49.Damage：损伤。对于单晶体来说，有时晶格缺陷在表面处理后形成无法修复的变形也可以叫做损伤。50.Defectdensity：缺陷密度。单位面积内的缺陷数。51.Depletionimplant：耗尽注入。一种在沟道中注入离子形成耗尽晶体管的注入工艺。（耗尽晶体管指在栅压为零的情况下有电流流过的晶体管。）52.Depletionlayer：耗尽层。可动载流子密度远低于施主和受主的固定电荷密度的区域。53.Depletionwidth：耗尽宽度。53中提到的耗尽层这个区域的宽度。54.Deposition：淀积。一种在圆片上淀积一定厚度的且不和下面层次发生化学反应的薄膜的一种方法。55.Depthoffocus（DOF）：焦深。56.designofexperiments(DOE)：为了达到费用最小化、降低试验错误、以及保证数据结果的统计合理性等目的，所设计的初始工程批试验计划。57.develop：显影（通过化学处理除去曝光区域的光刻胶，形成所需图形的过程）58.developer：Ⅰ）显影设备；Ⅱ）显影液59.diborane(B2H6)：乙硼烷，一种无色、易挥发、有毒的可燃气体，常用来作为半导体生产中的硼源60.dichloromethane(CH2CL2)：二氯甲，一种无色，不可燃，不可爆的液体。61.dichlorosilane(DSC)：二氯甲硅烷，一种可燃，有腐蚀性，无色，在潮湿环境下易水解的物质，常用于硅外延或多晶硅的成长，以及用在沉积二氧化硅、氮化硅时的化学气氛中。62.die：硅片中一个很小的单位，包括了设计完整的单个芯片以及芯片邻近水平和垂直方向上的部分划片槽区域。63.dielectric：Ⅰ）介质，一种绝缘材料；Ⅱ）用于陶瓷或塑料封装的表面材料，可以提供电绝缘功能。64.diffusedlayer：扩散层，即杂质离子通过固态扩散进入单晶硅中，在临近硅表面的区域形成与衬底材料反型的杂质离子层。65.disilane(Si2H6)：乙硅烷，一种无色、无腐蚀性、极易燃的气体，燃烧时能产生高火焰，暴露在空气中会自燃。在生产光电单元时，乙硅烷常用于沉积多晶硅薄膜。66.drive-in：推阱，指运用高温过程使杂质在硅片中分布扩散。67.dryetch：干刻，指采用反应气体或电离气体除去硅片某一层次中未受保护区域的混合了物理腐蚀及化学腐蚀的工艺过程。 68.effectivelayerthickness：有效层厚，指在外延片制造中，载流子密度在规定范围内的硅锭前端的深度。69.EM：electromigration，电子迁移，指由通过铝条的电流导致电子沿铝条连线进行的自扩散过程。70.epitaxiallayer：外延层。半导体技术中，在决定晶向的基质衬底上生长一层单晶半导体材料，这一单晶半导体层即为外延层。71.equipmentdowntime：设备状态异常以及不能完成预定功能的时间。72.etch：腐蚀，运用物理或化学方法有选择的去除不需的区域。73.exposure：曝光，使感光材料感光或受其他辐射材料照射的过程。74.fab：常指半导体生产的制造工厂。75.featuresize：特征尺寸，指单个图形的最小物理尺寸。76.field-effecttransistor（FET）：场效应管。包含源、漏、栅、衬四端，由源经栅到漏的多子流驱动而工作，多子流由栅下的横向电场控制。77.film：薄膜，圆片上的一层或多层迭加的物质。78.flat：平边79.flatbandcapacitanse：平带电容80.flatbandvoltage：平带电压81.flowcoefficicent：流动系数82.flowvelocity：流速计83.flowvolume：流量计84.flux：单位时间内流过给定面积的颗粒数85.forbiddenenergygap：禁带86.four-pointprobe：四点探针台87.functionalarea：功能区88.gateoxide：栅氧89.glasstransitiontemperature：玻璃态转换温度90.gowning：净化服91.grayarea：灰区92.grazingincidenceinterferometer：切线入射干涉仪93.hardbake：后烘94.heteroepitaxy：单晶长在不同材料的衬底上的外延方法95.high-currentimplanter：束电流大于3ma的注入方式，用于批量生产96.hign-efficiencyparticulateair(HEPA)filter：高效率空气颗粒过滤器，去掉99.97%的大于0.3um的颗粒97.host：主机98.hotcarriers：热载流子99.hydrophilic：亲水性100.hydrophobic：疏水性101.impurity：杂质102.inductivecoupledplasma(ICP)：感应等离子体103.inertgas：惰性气体104.initialoxide：一氧105.insulator：绝缘106.isolatedline：隔离线 107.implant:注入108.impurityn:掺杂109.junction:结110.junctionspikingn:铝穿刺111.kerf:划片槽112.landingpadn:PAD113.lithographyn制版114.maintainability,equipment:设备产能115.maintenancen:保养116.majoritycarriern:多数载流子117.masks,deviceseriesofn:一成套光刻版118.materialn:原料119.matrixn1:矩阵120.meann:平均值121.measuredleakraten:测得漏率122.mediann:中间值123.memoryn:记忆体124.metaln:金属125.nanometer(nm)n：纳米126.nanosecond(ns)n：纳秒127.nitrideetchn：氮化物刻蚀128.nitrogen(N2)n：氮气，一种双原子气体129.n-typeadj：n型130.ohmspersquaren：欧姆每平方:方块电阻131.orientationn：晶向，一组晶列所指的方向132.overlapn：交迭区133.oxidationn：氧化，高温下氧气或水蒸气与硅进行的化学反应134.phosphorus(P)n：磷，一种有毒的非金属元素135.photomaskn：光刻版，用于光刻的版136.photomask,negativen：反刻137.images：去掉图形区域的版138.photomask,positiven：正刻139.pilotn：先行批，用以验证该工艺是否符合规格的片子140.plasman：等离子体，用于去胶、刻蚀或淀积的电离气体141.plasma-enhancedchemicalvapordeposition(PECVD)n：等离子体化学气相淀积，低温条件下的等离子淀积工艺142.plasma-enhancedTEOSoxidedepositionn：TEOS淀积，淀积TEOS的一种工艺143.pnjunctionn：pn结144.pockedbeadn：麻点，在20X下观察到的吸附在低压表面的水珠145.polarizationn：偏振，描述电磁波下电场矢量方向的术语146.polyciden：多晶硅/金属硅化物，解决高阻的复合栅结构147.polycrystallinesilicon(poly)n：多晶硅，高浓度掺杂（>5E19）的硅，能导电。148.polymorphismn：多态现象，多晶形成一种化合物以至少两种不同的形态结晶的现象149.probern:探针。在集成电路的电流测试中使用的一种设备，用以连接圆片和检测设备。 150.processcontroln:过程控制。半导体制造过程中，对设备或产品规范的控制能力。151.proximityX-rayn:近X射线：一种光刻技术，用X射线照射置于光刻胶上方的掩膜版，从而使对应的光刻胶暴光。152.purewatern:纯水。半导体生产中所用之水。153.quantumdevicen:量子设备。一种电子设备结构，其特性源于电子的波动性。154.quartzcarriern:石英舟。155.randomaccessmemory(RAM)n:随机存储器。156.randomlogicdevicen:随机逻辑器件。157.rapidthermalprocessing(RTP)n:快速热处理(RTP)。158.reactiveionetch(RIE)n:反应离子刻蚀(RIE)。159.reactorn:反应腔。反应进行的密封隔离腔。160.recipen:菜单。生产过程中对圆片所做的每一步处理规范。161.resistn:光刻胶。162.scanningelectronmicroscope(SEM)n:电子显微镜(SEM)。163.scheduleddowntimen:(设备)预定停工时间。164.Schottkybarrierdiodesn:肖特基二极管。165.scribelinen:划片槽。166.sacrificialetchbackn:牺牲腐蚀。167.semiconductorn:半导体。电导性介于导体和绝缘体之间的元素。168.sheetresistance(Rs)(orpersquare)n:薄层电阻。一般用以衡量半导体表面杂质掺杂水平。169.sideload:边缘载荷，被弯曲后产生的应力。170.silicononsapphire(SOS)epitaxialwafer:外延是蓝宝石衬底硅的原片171.smallscaleintegration(SSI):小规模综合，在单一模块上由2到10个图案的布局。172.sourcecode:原代码，机器代码编译者使用的，输入到程序设计语言里或编码器的代码。173.spectralline:光谱线，光谱镊制机或分光计在焦平面上捕捉到的狭长状的图形。174.spinwebbing:旋转带，在旋转过程中在下表面形成的细丝状的剩余物。175.sputteretch:溅射刻蚀，从离子轰击产生的表面除去薄膜。176.stackingfault:堆垛层错，原子普通堆积规律的背离产生的2次空间错误。177.steambath:蒸汽浴，一个大气压下，流动蒸汽或其他温度热源的暴光。178.stepresponsetime:瞬态特性时间，大多数流量控制器实验中，普通变化时段到气流刚到达特定地带的那个时刻之间的时间。179.stepper:步进光刻机（按BLOCK来曝光）180.stresstest:应力测试，包括特定的电压、温度、湿度条件。181.surfaceprofile:表面轮廓，指与原片表面垂直的平面的轮廓（没有特指的情况下）。182.symptom:征兆，人员感觉到在一定条件下产生变化的弊病的主观认识。183.tackweld:间断焊，通常在角落上寻找预先有的地点进行的点焊（用于连接盖子）。184.Taylortray:泰勒盘，褐拈土组成的高膨胀物质。185.temperaturecycling:温度周期变化，测量出的重复出现相类似的高低温循环。186.testability:易测性，对于一个已给电路来说，哪些测试是适用它的。187.thermaldeposition:热沉积，在超过950度的高温下，硅片引入化学掺杂物的过程。188.thinfilm:超薄薄膜，堆积在原片表面的用于传导或绝缘的一层特殊薄膜。189.titanium(Ti):钛。190.toluene(C6H5CH3):甲苯。有毒、无色易燃的液体，它不溶于水但溶于酒精和大气。191.1,1,1-trichloroethane(TCA)(CL3CCH3):有毒、不易燃、有刺激性气味的液态溶剂。这种混 合物不溶于水但溶于酒精和大气。192.tungsten(W):钨。193.tungstenhexafluoride(WF6):氟化钨。无色无味的气体或者是淡黄色液体。在CVD中WF6用于淀积硅化物，也可用于钨传导的薄膜。194.tinning:金属性表面覆盖焊点的薄层。195.totalfixedchargedensity(Nth):下列是硅表面不可动电荷密度的总和：氧化层固定电荷密度(Nf)、氧化层俘获的电荷的密度(Not)、界面负获得电荷密度(Nit)。196.watt(W):瓦。能量单位。197.waferflat:从晶片的一面直接切下去，用于表明自由载流子的导电类型和晶体表面的晶向，也可用于在处理和雕合过程中的排列晶片。198.waferprocesschamber(WPC):对晶片进行工艺的腔体。199.well:阱。200.wetchemicaletch:湿法化学腐蚀。201.trench:深腐蚀区域，用于从另一区域隔离出一个区域或者在硅晶片上形成存储电容器。202.via:通孔。使隔着电介质的上下两层金属实现电连接。203.window:在隔离晶片中，允许上下两层实现电连接的绝缘的通道。204.torr:托。压力的单位。205.vaporpressure:当固体或液体处于平衡态时自己拥有的蒸汽所施加的压力。蒸汽压力是与物质和温度有关的函数。206.vacuum:真空。207.transitionmetals:过渡金属Yield良率Parameter参数PAC感光化合物ASIC特殊应用集成电路Solvent溶剂Carbide碳Refractive折射Expansion膨胀Strip湿式刻蚀法的一种TM:topmental顶层金属层WEE周边曝光PSG硼硅玻璃MFG制造部Runcard运作卡POD装晶舟和晶片的盒子Scratch刮伤Reticle光罩Sputter溅射Spin旋转Merge合并A/D[军]Analog.Digital,模拟/数字ACMagnitude交流幅度ACPhase交流相位 Accuracy精度"ActivityModelActivityModel"活动模型AdditiveProcess加成工艺Adhesion附着力Aggressor干扰源AnalogSource模拟源AOI,AutomatedOpticalInspection自动光学检查AssemblyVariant不同的装配版本输出Attributes属性AXI,AutomatedX-rayInspection自动X光检查BIST,Built-inSelfTest内建的自测试BusRoute总线布线Circuit电路基准circuitdiagram电路图Clementine专用共形开线设计ClusterPlacement簇布局CM合约制造商CommonImpedance共模阻抗Concurrent并行设计ConstantSource恒压源CooperPour智能覆铜Crosstalk串扰CVT,ComponentVerificationandTracking元件确认与跟踪DCMagnitude直流幅度Delay延时Delays延时DesignforTesting可测试性设计Designator标识DFC,DesignforCost面向成本的设计DFM,DesignforManufacturing面向制造过程的设计DFR,DesignforReliability面向可靠性的设计DFT,DesignforTest面向测试的设计DFX,DesignforX面向产品的整个生命周期或某个环节的设计DSM,DynamicSetupManagement动态设定管理DynamicRoute动态布线EDIF,TheElectronicDesignInterchangeFormat电子设计交互格式EIA,ElectronicIndustriesAssociation电子工业协会ElectroDynamicCheck动态电性能分析ElectromagneticDisturbance电磁干扰ElectromagneticNoise电磁噪声EMC,ElctromagneticCompatibilt电磁兼容EMI,ElectromagneticInterference电磁干扰Emulation硬件仿真 EngineeringChangeOrder原理图与PCB版图的自动对应修改Ensemble多层平面电磁场仿真ESD静电释放FallTime下降时间FalseClocking假时钟FEP氟化乙丙烯FFT,FastFourierTransform快速傅里叶变换FloatLicense网络浮动FrequencyDomain频域GaussianDistribution高斯分布Globalflducial板基准GroundBounce地弹反射GUI,GraphicalUserInterface图形用户界面Harmonica射频微波电路仿真HFSS三维高频结构电磁场仿真IBIS,Input/OutputBufferInformationSpecification模型ICAM,IntegratedComputerAidedManufacturing在ECCE项目里就是指制作PCBIEEE,TheInstituteofElectricalandElectronicEngineers国际电气和电子工程师协会IGES,InitialGraphicsExchangeSpecification三维立体几何模型和工程描述的标准ImageFiducial电路基准Impedance阻抗In-Circuit-Test在线测试InitialVoltage初始电压InputRiseTime输入跃升时间IPC,TheInstituteforPackagingandInterconnect封装与互连协会IPO,InteractiveProcessOptimizaton交互过程优化ISO,TheInternationalStandardsOrganization国际标准化组织Jumper跳线LinearDesignSuit线性设计软件包LocalFiducial个别基准manufacturing制造业MCMs,Multi-ChipModules多芯片组件MDE,MaxwellDesignEnvironmentNonlinearDesignSuit非线性设计软件包ODB++OpenDataBase公开数据库OEM原设备制造商OLEAutomation目标连接与嵌入On-lineDRC在线设计规则检查Optimetrics优化和参数扫描Overshoot过冲Panelfiducial板基准PCBPCBoardLayoutTools电路板布局布线PCB,PrintedCircuitBoard印制电路板Period周期 PeriodicPulseSource周期脉冲源PhysicalDesignReuse物理设计可重复PI,PowerIntegrity电源完整性Piece-Wise-linearSource分段线性源Preview输出预览PulseWidth脉冲宽度PulsedVoltage脉冲电压QuiescentLine静态线RadialArrayPlacement极坐标方式的元件布局Reflection反射Reuse实现设计重用RiseTime上升时间Rnging振荡,信号的振铃Rounding环绕振荡RulesDriven规则驱动设计SaxBasicEngine设计系统中嵌入SDE,SerenadeDesignEnvironmentSDT,SchematicDesignTools电路原理设计工具Setting设置SettlingTime建立时间ShapeBase以外形为基础的无网格布线Shove元器件的推挤布局SI,SignalIntegrity信号完整性Simulation软件仿真Sketch草图法布线Skew偏移SlewRate斜率SPC,StaticticalProcessControl统计过程控制SPI,Signal-PowerIntegrity将信号完整性和电源完整性集成于一体的分析工具SPICE,SimulationProgramwithIntegratedCircuitEmphasis集成电路模拟的仿真程序Split/MixedLayer多电源/地线的自动分隔SSO同步交换STEP,StandardfortheExchangeofProductModelDataSymphony系统仿真Timedomain时域TimestepSetting步进时间设置UHDL,VHSICHardwareDescriptionLanguage硬件描述语言Undershoot下冲UniformDistribution均匀分布Variant派生VIA-VendorIntegrationAlliance程序框架联盟Victim被干扰对象VirtualSystemPrototype虚拟系统原型VST,VerficationandSimulationTools验证和仿真工具 Wizard智能建库工具,向导2.专业术语术语英文意义中文解释LCDLiquidCrystalDisplay液晶显示LCMLiquidCrystalModule液晶模块TNTwistedNematic扭曲向列。液晶分子的扭曲取向偏转90度STNSuperTwistedNematic超级扭曲向列。约180～270度扭曲向列FSTNFormulatedSuperTwistedNematic格式化超级扭曲向列。一层光程补偿偏甲于STN，用于单色显示TFTThinFilmTransistor薄膜晶体管Backlight-背光Inverter-逆变器OSDOnScreenDisplay在屏上显示DVIDigitalVisualInterface（VGA）数字接口TMDSTransitionMinimizedDifferentialSingnalingLVDSLowVoltageDifferentialSignaling低压差分信号Panelink-ICIntegrateCircuit集成电路TCPTapeCarrierPackage柔性线路板COBChipOnBoard通过绑定将IC裸偏固定于印刷线路板上COFChipOnFPC将IC固定于柔性线路板上COGChipOnGlass将芯偏固定于玻璃上Duty-占空比，高出点亮的阀值电压的部分在一个周期中所占的比率LEDLightEmittingDiode发光二极管ELElextroLuminescence电致发光。EL层由高分子量薄片构成CCFL(CCFT)ColdCathodeFluorescentLight/Tude冷阴极荧光灯PDPPlasmaDisplayPanel等离子显示屏CRTCathodeRadialTude阴极射线管VGAVideoGraphicAnay视频图形陈列PCBPrintedCircuitBoard印刷电路板Compositevideo-复合视频componentvideo-分量视频S-video-S端子，与复合视频信号比，将对比和颜色分离传输NTSCNationalTelevisionSystemsCommitteeNTSC制式。全国电视系统委员会制式PhaseAlrernatingLinePAL制式（逐行倒相制式）SEquentialCouleurAvecMemoireSECAM制式（顺序与存储彩色电视系统）VideoOnDemand视频点播DPIDotPerInch点每英寸3.A.M.U原子质量数4.ADIAfterdevelopinspection显影后检视5.AEI蚀科后检查6.Alignment排成一直线，对平7.Alloy融合：电压与电流成线性关系，降低接触的阻值8.ARC：anti-reflectcoating防反射层 9.ASHER:一种干法刻蚀方式10.ASI光阻去除后检查11.Backside晶片背面12.BacksideEtch背面蚀刻13.Beam-Current电子束电流14.BPSG:含有硼磷的硅玻璃15.Break中断，stepper机台内中途停止键16.Cassette装晶片的晶舟17.CD：criticaldimension关键性尺寸18.Chamber反应室19.Chart图表20.Childlot子批21.Chip(die)晶粒22.CMP化学机械研磨23.Coater光阻覆盖（机台）24.Coating涂布，光阻覆盖25.ContactHole接触窗26.ControlWafer控片27.Criticallayer重要层28.CVD化学气相淀积29.Cycletime生产周期30.Defect缺陷31.DEP:deposit淀积32.Descum预处理33.Developer显影液；显影（机台）34.Development显影35.DG:dualgate双门36.DIwater去离子水37.Diffusion扩散38.Doping掺杂39.Dose剂量40.Downgrade降级41.DRC:designrulecheck设计规则检查42.DryClean干洗43.Duedate交期44.Dummywafer挡片45.E/R:etchrate蚀刻速率46.EE设备工程师47.EndPoint蚀刻终点48.ESD:electrostaticdischarge/electrostaticdamage静电离子损伤49.ET:etch蚀刻50.Exhaust排气（将管路中的空气排除）51.Exposure曝光52.FAB工厂 53.FIB:focusedionbeam聚焦离子束54.FieldOxide场氧化层55.Flatness平坦度56.Focus焦距57.Foundry代工58.FSG:含有氟的硅玻璃59.Furnace炉管60.GOI:gateoxideintegrity门氧化层完整性61.H.M.D.SHexamethyldisilazane,经去水烘烤的晶片，将涂上一层增加光阻与晶片表面附着力的化合物，称H.M.D.S62.HCI:hotcarrierinjection热载流子注入63.HDP：highdensityplasma高密度等离子体64.High-Voltage高压65.Hotbake烘烤66.ID辨认，鉴定67.Implant植入68.Layer层次69.LDD:lightlydopeddrain轻掺杂漏70.Localdefocus局部失焦因机台或晶片造成之脏污71.LOCOS:localoxidationofsilicon局部氧化72.Loop巡路73.Lot批74.Mask(reticle)光罩75.Merge合并76.MetalVia金属接触窗77.MFG制造部78.Mid-Current中电流79.Module部门80.NIT:Si3N4氮化硅81.Non-critical非重要82.NP:n-dopedplus(N+)N型重掺杂83.NW:n-dopedwellN阱84.OD:oxidedefinition定义氧化层85.OM:opticmicroscope光学显微镜86.OOC超出控制界线87.OOS超出规格界线88.OverEtch过蚀刻89.Overflow溢出90.Overlay测量前层与本层之间曝光的准确度91.OX:SiO2二氧化硅92.P.R.Photoresisit光阻93.P1:poly多晶硅94.PA;passivation钝化层95.Parentlot母批 96.Particle含尘量/微尘粒子97.PE:1.processengineer;2.plasmaenhance1、工艺工程师2、等离子体增强98.PH:photo黄光或微影99.Pilot实验的100.Plasma电浆101.Pod装晶舟与晶片的盒子102.Polymer聚合物103.PORProcessofrecord104.PP:p-dopedplus(P+)P型重掺杂105.PR:photoresist光阻106.PVD物理气相淀积107.PW:p-dopedwellP阱108.Queuetime等待时间109.R/C:runcard运作卡110.Recipe程式111.Release放行112.Resistance电阻113.Reticle光罩114.RF射频115.RM:remove.消除116.Rotation旋转117.RTA:rapidthermalanneal迅速热退火118.RTP:rapidthermalprocess迅速热处理119.SA:salicide硅化金属120.SAB:salicideblock硅化金属阻止区121.SAC:sacrificelayer牺牲层122.Scratch刮伤123.Selectivity选择比124.SEM：scanningelectronmicroscope扫描式电子显微镜125.Slot槽位126.Source-Head离子源127.SPC制程统计管制128.Spin旋转129.SpinDry旋干130.Sputter溅射131.SRO:Sirichoxide富氧硅132.Stocker仓储133.Stress内应力134.STRIP:一种湿法刻蚀方式135.TEOS–(CH3CH2O)4Si四乙氧基硅烷/正硅酸四乙酯，常温下液态。作LPCVD/PECVD生长SiO2的原料。又指用TEOS生长得到的SiO2层。136.Ti钛137.TiN氮化钛138.TM:topmetal顶层金属层 139.TORToolofrecord140.UnderEtch蚀刻不足141.USG:undoped硅玻璃142.W(Tungsten)钨143.WEE周边曝光144.mainframe主机145.cassette晶片盒146.amplifier放大器147.enclosure外壳148.wrench扳手149.swagelok接头锁紧螺母150.clamp夹子151.actuator激励152.STIshallowtrenchisolantion浅沟道隔离层153.SAB硅铝块154.UBM球下金属层镀模工艺155.RDL金属连线重排工艺156.RIEreactinvionetch反应离子etch157.ICPinductivecoupleplasma感应等离子体158.TFTthinfilmtransistor薄模晶体管159.ALDatomiclayerdeposition原子层淀积160.BGAballgridarray高脚封装161.AASatomicabsorptionsspectroscopy原子吸附光谱162.AFMatomicforcemicroscopy原子力显微163.ASIC特定用途集成电路164.ATE自动检测设备165.SIPself-ionizedplasma自电离电浆166.IGBT绝缘门双极晶体管167.PMDpremetaldielectric电容168.TCUtemperaturecontrolunit温度控制设备169.arcchamber起弧室170.vaporizer蒸发器171.filament灯丝172.repeller反射板173.ELSextendedlifesource高寿命离子源174.analyzermagnet磁分析器175.postaccel后加速器176.quadrupolelens磁聚焦透镜177.disk/flagfaraday束流测量器178.e-shower中性化电子子发生器179.extrantionelectrode高压吸极180.disk靶盘181.rotarydrive旋转运动182.linerdrive直线往复运动 183.gyrodrive两方向偏转184.flataligener平边检测器185.loadlockvalve靶盘腔装片阀186.reservoir水槽187.stringfilter过滤器188.DIfilter离子交换器189.chiller制冷机190.heatexchange热交换机'